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＜図書＞
イメージングプレート・電子回折による半導体デバイスのゲッタリング機構の定量的解析
イメージング プレート デンシ カイセツ ニヨル ハンドウタイ デバイス ノ ゲッタリング キコウ ノ テイリョウテキ カイセキ
| 責任表示 | 研究代表者 友清芳二 |
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| シリーズ | 科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 ; 平成7年度-平成8年度 |
| データ種別 | 図書 |
| 出版者 | [福岡] : [九州大学] |
| 出版年 | 1997.3 |
| 本文言語 | 日本語,英語 |
| 大きさ | 1冊 ; 30cm |
所蔵情報
| 状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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中央図 自動書庫 | 科研報告/九州大学/07455010 | 1997 |
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003112004509122 |
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書誌詳細
| 別書名 | 異なりアクセスタイトル:平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 07455010 |
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| 一般注記 | 研究分担者:松村晶 |
| 著者標目 | 友清, 芳二(1942-) <トモキヨ, ヨシツグ> |
| 書誌ID | 1001176511 |
| NCID | BA67674569 |
| 登録日 | 2009.09.17 |
| 更新日 | 2011.10.07 |