<図書>
過剰空孔の導入及びその緩和過程制御による疑似単結晶シリコン形成技術の研究
カジョウ クウコウ ノ ドウニュウ オヨビ ソノ カンワ カテイ セイギョ ニヨル ギジタン ケッショウ シリコン ケイセイ ギジュツ ノ ケンキュウ
責任表示 | 研究代表者 宮尾正信 |
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シリーズ | 科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 ; 平成12年度-平成14年度 |
データ種別 | 図書 |
出版者 | [福岡] : [九州大学] |
出版年 | 2003.3 |
本文言語 | 日本語,英語 |
大きさ | 1冊 ; 30cm |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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中央図 自動書庫 | 科研報告/九州大学/12450015 | 2003 |
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003122003006605 |
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書誌詳細
別書名 | 異なりアクセスタイトル:平成12年度-平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(12450015) |
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一般注記 | 研究分担者:佐道泰造ほか |
著者標目 | 宮尾, 正信 <ミヤオ, マサノブ> |
書誌ID | 1001083917 |
NCID | BA63919278 |
登録日 | 2009.09.17 |
更新日 | 2011.10.07 |