<図書>
長時間高周波電流駆動プラズマにおける電流駆動効率の改善に関する研究
チョウジカン コウシュウハ デンリュウ クドウ プラズマ ニオケル デンリュウ クドウ コウリツ ノ カイゼン ニ カンスル ケンキュウ
責任表示 | 研究代表者 花田和明 |
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シリーズ | 科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書 ; 平成12年度-平成13年度 |
データ種別 | 図書 |
出版者 | [福岡] : [九州大学] |
出版年 | 2003.5 |
本文言語 | 日本語,英語 |
大きさ | 1冊 ; 30cm |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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中央図 自動書庫 | 科研報告/九州大学/13680559 | 2003 |
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003122003008473 |
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書誌詳細
別書名 | 異なりアクセスタイトル:平成12年度-平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(13680559) |
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一般注記 | 研究分担者:中村一男ほか |
著者標目 | 花田, 和明 <ハナダ, カズアキ> |
書誌ID | 1001030397 |
NCID | BA64171583 |
登録日 | 2009.09.17 |
更新日 | 2011.10.07 |