Electron microscopy of semiconducting materials and ULSI devices : symposium held Aprl 15-16, 1998, San Francisco, California, U. S. A.

＜図書＞
Electron microscopy of semiconducting materials and ULSI devices : symposium held Aprl 15-16, 1998, San Francisco, California, U. S. A.

責任表示	editors, Clive Hayzelden, Crispin Hetherington, Frances Ross
シリーズ	Materials Research Society symposium proceedings ; v. 523
データ種別	図書
出版者	Warrendale, Pa. : Materials Research Society
出版年	1998
本文言語	英語
大きさ	xi, 270 p. : 24 cm
概要	The first symposium on electron microscopy and materials for ultra-large scale integration (ULSI) at the Society's meeting attracted 34 papers by contributors from Asia, North America, and Europe. The... cover specimen preparation and defect analysis in semiconductor devices; metallization, silicides, and diffusion barriers; the advanced characterization of ULSI structures, and semiconductor epitaxy and heterostructures. Annotation copyrighted by Book News, Inc., Portland, OR続きを見る

状態	巻次	所蔵場所	請求記号	刷年	文庫名称	資料番号	コメント	予約・取寄	複写申込	自動書庫
		筑紫図 1B 会議録	501.408/Ma 71/523	1998		062212002000135		予約・取寄			予約・取寄

一般注記	Includes bibliographical references and index
著者標目	Hayzelden, Clive Hetherington, Crispin Ross, Frances
件　名	LCSH:Integrated circuits -- Ultra large scale integration -- Testing -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Semiconductors -- Testing -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Electron microscopy -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7874.76 DC21:621.3815/2
書誌ID	1000997063
ISBN	1558994297
NCID	BA37860961
巻冊次	ISBN:1558994297
登録日	2009.09.16
更新日	2009.09.16