<図書>
Polysilicon films and interfaces : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A.
責任表示 | editors, C.Y. Wong, C.V. Thompson, K.N. Tu |
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シリーズ | Materials Research Society symposia proceedings ; v. 106 |
データ種別 | 図書 |
出版者 | Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society |
出版年 | c1988 |
大きさ | xi, 369 p. : ill. ; 24 cm |
所蔵情報
状態 | 巻次 | 所蔵場所 | 請求記号 | 刷年 | 文庫名称 | 資料番号 | コメント | 予約・取寄 | 複写申込 | 自動書庫 |
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[伊]超顕微解析 | 100 | 1988 |
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068252188006301 |
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書誌詳細
一般注記 | "This volume represents the Proceedings of the Symposium on Polysilicon Films and Interfaces"--P. xi Includes bibliographies and indexes |
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著者標目 | Wong, C. Y. (Catherine Y.) Thompson, C. V. (Carl V.) Tu, K. N. (King-Ning) Symposium on Polysilicon Films and Interfaces (1987 : Boston, Mass.) |
件 名 | LCSH:Silicon -- Electric properties -- Congresses
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LCSH:Integrated circuits -- Materials -- Congresses 全ての件名で検索 |
分 類 | LCC:TK7871.15.S55 DC19:620.1/93 |
書誌ID | 1000001606 |
NCID | BA0688725X |
登録日 | 1991.11.28 |
更新日 | 1996.03.07 |