Polysilicon films and interfaces : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A.

＜図書＞
Polysilicon films and interfaces : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A.

責任表示	editors, C.Y. Wong, C.V. Thompson, K.N. Tu
シリーズ	Materials Research Society symposia proceedings ; v. 106
データ種別	図書
出版者	Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
出版年	c1988
大きさ	xi, 369 p. : ill. ; 24 cm

状態	巻次	所蔵場所	請求記号	刷年	文庫名称	資料番号	コメント	予約・取寄	複写申込	自動書庫
		[伊]超顕微解析	100	1988		068252188006301		リコール			リコール

一般注記	"This volume represents the Proceedings of the Symposium on Polysilicon Films and Interfaces"--P. xi Includes bibliographies and indexes
著者標目	Wong, C. Y. (Catherine Y.) Thompson, C. V. (Carl V.) Tu, K. N. (King-Ning) Symposium on Polysilicon Films and Interfaces (1987 : Boston, Mass.)
件　名	LCSH:Silicon -- Electric properties -- Congresses 全ての件名で検索 LCSH:Integrated circuits -- Materials -- Congresses 全ての件名で検索
分　類	LCC:TK7871.15.S55 DC19:620.1/93
書誌ID	1000001606
NCID	BA0688725X
登録日	1991.11.28
更新日	1996.03.07