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＜Book＞
フルオロカーボンプラズマ下流での気相分子成長とその応用
フルオロカーボン プラズマ カリュウ デノ キソウ ブンシ セイチョウ ト ソノ オウヨウ
| Responsibility | 研究代表者 古屋謙治 |
|---|---|
| Series | 科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書 ; 平成17年度-18年度 |
| Material Type | Book |
| Publisher | [福岡] : [九州大学] |
| Year | 2007.3 |
| Language | Japanese,English |
| Size | 65p ; 30cm |
Holdings
| Status | Volume | Location | Call No. | Printed | Collection Name | Barcode No. | Comments | Reserve | Copy | Automatic archive |
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Central Library ASRS | 科研報告/九州大学/17540471 | 2007 |
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003112007509036 |
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Bibliographic details
| Other titles | variant access title:平成17～18年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書 |
|---|---|
| Notes | 課題番号: 17540471 |
| Authors | 古屋, 謙治 <フルヤ, ケンジ> |
| ID | 1001342740 |
| NCID | BA8218205X |
| Created Date | 2009.09.18 |
| Modified Date | 2011.10.07 |